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产品描述
FMA5400A/5500A系列电子气体质量流量计可控制0~10 SCCM范围内高达100 SLM的多种气体的流量。FMA5400A/5500A利用通过加热管进行的热传递测量气体流量,可提供直接的气体质量流量测量值,并且无需对(规定限值以内的)气体温度或压力进行补偿。 该产品可提供经济型铝/铜结构,适合测量普通气体流量,同时可提供316不锈钢结构,适合有更高耐腐蚀要求的应用。不带一体式显示屏的FMA5400A系列流量计具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模拟量输出,以便进行远程监测;FMA5500A系列流量计兼具一体式3-1/2位数字显示屏和模拟量输出。显示屏可倾斜90度,查看读数方便。显示屏经过校准,可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流量(您可以通过专门订购来获得其它气体校准)。
FMA5400A/5500A质量流量控制器具有内置常闭电磁阀,无论入口压力或出口压力如何变化,都能保持流量恒定。设定值可通过电位计(电位计可通过外壳中的访问窗口访问)进行本地控制,也可通过0-5 Vdc或4~20 mA模拟信号(现场可选)远程控制。FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc电源(最大电流800 mA),FMA545PW墙壁插入式插座电源可满足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mA最大值(仅限43、44、45的规格)。型号为FMA545C(单独提供)的配件提供配接式15针""D""型连接器,带8英尺屏蔽电缆用于访问模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500A系列配备的LCD通过通讯插头与下面的电子设备相连。通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD,之后,您必须自行组装组件以便进行LCD的面板安装。
产品规格
精度:对于满量程小于100 SLM ±1% FS的装置,在15~25°C(59~77°F)和
0.7~4.2 kg/cm?(10~60 psia)下具有线性度。对于≥100 SLM的装置,满量程:±1.5% FS,在15~25°C(59~77°F)和 0.7~4.2 kg/cm?(10~60 psia)下在20~100%的范围内具有线性度;在0~20%的范围内为±3% FS。
重复性:± 0.5%满量程
温度系数:0.15% FS/°C
压力系数:每psi 0.01%FS(0.07 bar)
最大压降:50 psid
响应时间:在25%~100%FS范围内,5秒处于设定流量的±2%范围内
最大气压:70 kg/cm2表压(1000 psig)(适用于最高100 SLM的装置); 35 kg/cm2表压(500 psig);最佳1.76 kg/cm(25 psig)
气体和环境温度:5~50°C(41~122°F)
泄露率:对外界环境的最大泄漏率为1×10-7cc/sec氦气
接液材质:
铝制流量计:阳极氧化铝,316 SS,黄铜和FKM O形圈
不锈钢型号:316 SS 和 FKM O型圈
输出信号:
线性0~5 Vdc:1000 Ω最小负载
4~20 mA:50~500 Ω 环路电阻,±20 mV 最大噪声
传感器电源:12~26 Vdc @ 800 mA 标准量程比:40:1
装运重量:1.8 kg (4 lb)
合规性:EN55011 1类,B类;EN50082-1
海拔灵敏度:水平流径,倾斜到20°,校准也不会发生偏移
气体相对湿度:0~70% RH